本製品は生産終了いたしました。


TG103CSはコンビネーション型で、白金・イリジウム製のピラニゲージとB-A型電離真空計タフゲージを同じ測定子内に内蔵しています。 測定子とコントローラをケーブルで接続するセパレートタイプです。タフゲージは各電極を高温に加熱しながら測定する<特許技術>タフモードを備え、有機性汚染雰囲気中でも感度低下を起こしにくく、長期間、高精度で測定することが可能です。



「センサーケーブル仕様」

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コンビネーション型真空計TG103CSの特長
  • 測定範囲1x10-7Pa ~10+5Pa
  • ピラニ真空計からB-A型真空計タフゲージに自動切換
  • Windowsアプリケーションでログ管理

TG102CS 基本仕様

名称 タフゲージ103CS (ToughGauge 103CS)
圧力測定範囲(N2) 1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)
表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC100~240V
消費電力 測定時:16.5W(5mケーブル使用時)
※センサケーブル5mの場合
測定フィラメント ピラニ真空計: 白金・イリジウム合金 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 42μA、2.5mA(自動切換)
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱(デガス時間2分)
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行292.5mm
質量 コントローラ:1.6kg
測定子NW25:120g ICF70:410g
入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF)
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 5m

※仕様は予告なく変更する場合があります。

 

TG102CS関連製品型番
品名 型番 仕様・備考
TG103CS(測定子+コントローラ) Tg103CS-001 NW25(ケーブル別売)
TG103CS(測定子+コントローラ) Tg103CS-002 ICF70(ケーブル別売)
測定子単体 TgH201C-001 測定子NW25
測定子単体 TgH201C-002 測定子ICF70
Tg103CSコントローラ単体 TgC103CS-001 コントローラ
ケーブル単体 Tg103CBL-005 ケーブル(5m)