本製品は生産終了いたしました。


本製品は、測定子にB-A型電離真空計(タフゲージ)とピラニ真空計を搭載したセパレート型のコンビネーションタフゲージです。


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「コントローラ寸法図」(画像をクリック)
「センサーケーブル仕様」(画像クリック)

TG102CS 基本仕様

名称 タフゲージ102CS(ToughGauge 102CS)
圧力測定範囲(N2) 1x10-7Pa ~10+5Pa(ICF70フランジ使用時)
表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC100~240V
消費電力 測定時:28W(イオンゲージ、タフモード500℃)、
5.3W(ピラニ/TG-102CS)
※センサケーブル5mの場合
測定フィラメント ピラニ真空計: タングステン・フィラメント 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 28μA、5mA
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行230mm
質量 1.2kg
入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF)及びICF70(NW40CF)【特注品】
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 5m,10m【特注品】

※仕様は予告なく変更する場合があります。

 

TG102CS関連製品型番

品名 型番 仕様・備考
TG102CS
(測定子+コントローラ+ケーブル)
TG102CS-001(5m) NW25,ケーブル5m
TG102CS
(測定子+コントローラ+ケーブル)
TG102CS-002(5m)【特注品】 ICF70,ケーブル5m
測定子単体 TGH102CS-001 測定子NW25のみ
測定子単体 TGH102CS-002【特注品】 測定子ICF70のみ
TG102CSコントローラ単体 TGC102CS-001 コントローラのみ
ケーブル単体 TG102CSCBL-005 ケーブル(5m)のみ
ケーブル単体 TG102CSCBL-010【特注品】 ケーブル(10m)のみ