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タフゲージ100 基本仕様

名称 タフゲージ100 (ToughGauge 100)
圧力測定範囲(N2) 1×10 -7 Pa ~10Pa
(エミッション電流1mA時、ICF70フランジ使用時)
表示圧力単位 Pa、Torr で切り替え可
入力電源 AC100V~AC240V (ACアダプタよりDC12V供給)
消費電力 測定時 7.2W
デガス時 30W
測定フィラメント イットリアコート・イリジウム・フィラメント 2本(断線時自動切り替え)
エミッション電流 50μA、1mA
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 エミッションON/OFF
デガスON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 上記図参照
質量 600g
入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF)、ICF70(NW40CF) の2タイプ
外部通信 RS232C、USB
画面表示 取り付け方向に合わせて画面の表示方向を変更できます。

※仕様は予告なく変更する場合があります。


タフゲージ100 製品型番

品名 型番 仕様・備考
TG100 (測定子+コントローラ) TG100-001 NW25
TG100 (測定子+コントローラ) TG100-002 ICF70
TG100コントローラ単体 TGC100-001 コントローラのみ
測定子単体 TGH100-001 測定子NW25のみ
測定子単体 TGH100-002 測定子ICF70のみ