真空計は、大気(10の5乗Pa)より低い圧力の気体で満たされている特定の空間計測に使います。その範囲は、大気から現在計測可能な真空到達で、15から16桁になります。この桁数を一種類の真空計で計測することは不可能で、色々な真空計を目的や用途に応じて使い分けることになります。

方式による真空計の種類

1.機械的現象に基づき圧力を力として検出する真空計

U字管真空計、マクラウド真空計、隔膜真空計、ブルドン管

2.気体の輸送現象に基づく真空計
気体分子による熱伝導を利用する熱伝導真空計
ピラニ真空計、熱電対真空計、サーミスタ真空計、対流真空計
気体分子の摩擦効果を利用する粘性真空計
スピニングロータ真空計、水晶摩擦真空計
3.気体を電離してイオン電流として計測する真空計
熱陰極電離真空計
三極管型真空計、シュルツゲージ、B-A型真空計、エクストラクター型真空計
冷陰極型電離真空計
ペニング真空計、冷陰極マグネトロン真空計

 

これらは全圧真空計と呼ばれ、気体の組成が一定の条件下で全圧に比例して読みを得るということです。機械的現象を用いる真空計以外の全圧真空計の出力を正しい圧力に換算するためには、測定対象の気体の分圧(組成)の情報が必要となります。(一般には窒素で校正を行い窒素換算の読みとなっています。)

アンペールでは、ピラニ真空計、電離真空計(熱陰極B-A型、冷陰極型)を取り扱いしております。

 

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