長寿命の真空計「タフゲージ」を実際にご採用頂いたお客様の使用事例です。

 

薄膜形成装置メーカ様


《スパッタ装置等を開発する薄膜形成装置メーカ》

  • 国産技術による信頼性・耐久性に優れた真空計を探していた。

 

タフゲージ CCTG100S(写真)及びTG200Cを評価

計測器メーカ様


ご担当者様のコメント

「高濃度シロキサン環境下で、他メーカ真空計では1週間程度の寿命。
タフゲージは半年経過しても問題なく稼働している。」


タフゲージ TG100 TG102CS

真空機メーカ様


  • 有機性汚染物質を扱う真空装置。

 

タフゲージ TG100

国立大学 マテリアル工学科様


《研究用加熱炉、スパッタ装置》

ご採用者様のコメント

「性能は高く、操作性も非常に良い。非常にタフなので、 学生が起こしやすい操作ミス (大気中でエミッションON等) にも耐えられる。」


タフゲージ TG100

私立大学様


ご採用者様のコメント

「付属のアプリケーションソフトで
圧力データログがとれるところが使いやすい。」


タフゲージ TG100

 

タフゲージは下記のような用途に適した真空計です。

高い精度に加え、長寿命なタフゲージはお客様のメンテナンス負荷を大幅軽減します。

 

  • 真空蒸着装置
  • スパッタ装置
  • イオン注入装置
  • LPCVD装置
  • 真空炉
  • 電子顕微鏡
  • エッチング装置
  • 加速器
  • 真空排気装置