冷陰極電離真空計CCTG200

トランスミッタ型コールドカソードタフゲージ CCTG200

電極の超長寿命化を実現した真空計

 

Cold Cathode Tough Gauge 200はカソード電極を加熱する事で従来では対応できなかった電極汚染の防止、及び超高真空領域での安定放電を実現した世界初の真空計です。


CCTG200 基本仕様

名称 コールドカソードタフゲージ200
(Cold Cathode Tough Gauge 200)
圧力測定範囲(N2) 1x10 -8 Pa ~ 0.1Pa (ICF70フランジ使用時)
入力電源 DC24V、1A
漏洩磁束 ケース面で100ガウス以下
タフモード(汚染防止) カソードの温度を300℃、500℃、600℃に設定可能
デガスモード カソードを700℃に通電加熱
入力 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力 セットポイント接点(2系統)、アラーム、
0~10V(LOG、LIN、COMP)
コンビネーションモード ピラニ等のアナログ信号(0~10V)を取込み、
コンビネーション動作を行うモードです。

CCTG200 関連製品型番

構成 型番 仕様・備考
測定子+コントローラ CCTG200C-001 NW25、 アルミボディ、バイトンシール
コンビネーションモード付
CCTG200C-002 NW25、 SUSボディ、バイトンシール
コンビネーションモード付
CCTG200C-003 ICF70、 SUSボディ、メタルOリングシール
コンビネーションモード付
測定子単体 CCTGH200C-001 NW25、 アルミボディ、バイトンシール
CCTGH200C-002 NW25、 SUSボディ、バイトンシール
CCTGH200C-003 ICF70、 SUSボディ、メタルOリングシール