冷陰極電離真空計 CCTG110S

電極の長超寿命化を実現した真空計

冷陰極電離真空計 CCTG110Sは、従来では困難であったハロゲンなどの腐食性・汚染性ガスの環境下でも、感度低下少なく動作するセパレートタイプのコールドカソードゲージ。セラミック製カソードの加熱(タフモード)と最適制御により、感度低下を解決し、電極の長寿命化を実現した世界初の技術(セラミック製カソードの<加熱タフモード>と放電電流の制御)を投入した真空計です。



有機性ガスによる汚染や腐食性の雰囲気に耐えられる信頼性の高い電離真空計です。

陰極を加熱することで、汚染物質がカソード表面に付着するのを防ぎ(陰極表面を清浄に保つ)、放電持続性、放電スタート性を向上させました。

CCTG110S 基本仕様

名称 コールドカソードタフゲージ110S
(Cold Cathode Tough Gauge 110S)
圧力測定範囲(N2) 1x10 -8 Pa ~ 0.1Pa (ICF70フランジ使用時)
表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC85V~264V
消費電力 最大消費電力:40VA(5mケーブル使用、デガス時)
測定時消費電力:20VA(5mケーブル使用、500℃タフモード)
漏洩磁束 ヨーク面から1cmで100ガウス以下
バイアス 3kV~500V最適制御(計測圧力に最適な電圧に自動制御)
タフモード(汚染防止) カソードの温度を300、500、600℃に設定可能
デガスモード カソードを700℃に通電加熱
コントローラ使用温度範囲 0~40℃
外部入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
外部出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点x2系統(フォトモスリレーによる a接点)
アラーム信号
コントローラ外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行230mm
質量 コントローラ1.3Kg
入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ、HUコネクタ、HTコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF)、ICF70(NW40CF) の2タイプ
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 3芯特殊ケーブル5m
CCTG110S 関連製品型番
品名 型番 仕様・備考
CCTG110S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG110S-001(5m) バイトンシール アルミ測定子
サマコバ磁石,NW25
CCTG110S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG110S-002(5m) バイトンシール SUS測定子
サマコバ磁石,NW25
CCTG100S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG110S-003(5m) メタル0リングシール,SUS測定子
サマコバ磁石,ICF70
測定子単体 CCTGH110S-001 バイトンシール,アルミ測定子
サマコバ磁石,NW25
測定子単体 CCTGH110S-002 バイトンシール,SUS測定子
サマコバ磁石,NW25
測定子単体 CCTGH110S-003 メタル0リングシール,SUS測定子
サマコバ磁石,ICF70
CCTG110Sコントローラ CCTGC110S-001 コントローラ単体
ケーブル単体 CCTG110SCBL-005 ケーブル(5m)