システムゲージとは?

アンペール システムゲージは 「装置組込み」 をコンセプトとして設計された新しいかたち

コンパクトでコストパフォーマンスに優れた、環境にもやさしい真空計です。

 

1枚のコントロール基板で、SG700MPは1~4個のピラニ、SG701CMPは1個の複合真空計と

0~3個のピラニを制御します。

システムゲージ 基本構成

品名 SG700MP SG701CMP
構成図

ピラニ×1~4個 ケーブル×1~4本

複合×1個   ケーブル×1本
ピラニ×0~3個 ケーブル×0~3本

システムゲージの特長

1.コンパクトな設計
  • 超小型ヌード測定子と90×100mm基板
2.コストパフォーマンスに優れる
  • 1枚の基板で多チャンネル真空計(Max4個)を制御します。
3.環境にやさしい
  • 測定子の交換が簡単です。
  • 測定子フランジは洗浄して再利用することが可能です。
4.優れたリニアリティ
  • 下記グラフの通り、ラインがおおむね直線となっており、リニアリティが良好であることが確認できます。

システムゲージ ラインナップ

品名 SG700MP SG701CMP
構成 ピラニを1~4個接続 複合真空計を1個
ピラニを0~3個接続
測定圧力範囲 0.1~10+5Pa 複合真空計:10-6~10+5Pa
ピラニ真空計:0.1~10+5Pa
入力電源 DC24V±10% 4WMax(フル装備) DC24V±10% 30WMax(フル装備)
タフモード (オプション) BAグリッド、コレクタを加熱しながら測定
圧力信号出力 0-10V (圧力信号を電圧で出力) 同左
外部信号出力 セットポイント、アラーム信号 同左
外部通信 RS232C RS232C(オプション RS485)
使用環境温度 0-40℃ 同左
RoHS 対応 同左
測定子の許容温度 最大150℃(ベーキング温度) 同左
寸法 基板:90x100mm
ピラニ測定子:φ31x33
基板・ピラニ:同左
複合測定子:φ31 x 54

表示器

写真(イメージ)
品名 SGD100,SGD100WP(パネル付)、SGD100-TG301(TG301用)
入力電源 DC24V ±10% 1.2WMax
表示 7セグ(4桁) Pa,mbar,Torr,電圧から選択
圧力信号入力 0-10V
使用環境温度 0-40℃
RoHS 対応
寸法 55x60mm